友快網

導航選單

中科院再立功,這次是高階光刻機,ASML的擔憂或成現實

近些年,我國在高科技領域實現了快速崛起,航天、通訊等多方面都躋身到了國際一流水平,然而,高速發展的姿態深深地觸及了西方科技大國的“敏感神經”,尤其是美國,為了鞏固其科技霸主的地位,便對華為等中企實施了晶片禁令,妄圖以此來遏制我們的發展。

由於臺積電這樣的代工巨頭,高通、英特爾這樣的IC巨頭、荷蘭ASML這樣的光刻巨頭,都在不同程度上被限制了向我國市場出口,因此,我們若想突破晶片封鎖,就只剩下了自主研發這一條路可走。

在晶片國產化的道路上,國家制定了兩條腿走路的策略,一方面是在傳統晶片即將達到物理極限的情況下,發力研發新型晶片;另一方面是在傳統晶片領域進行追趕,從裝置、材料、技術等三個層面進行破冰,從而擺脫晶片產業對海外的依賴。

在新型晶片的研發上,中科院做出了表率,自研的8英寸石墨烯晶圓在國際石墨烯創新大會上,得到了海內外媒體以及科學家們的高度認可。石墨烯作碳基晶片的原材料,其重要性不言而喻,而中科院的8英寸石墨烯晶圓不管是尺寸或者效能,都屬國際頂尖水平。

正如外媒所說,在碳基領域,中國已經邁出了堅實的一步,至少領先全球五年。

而近日,國內再次傳出好訊息,這次是關於高階光刻機,中科院再次立功。

據媒體報道,中科院旗下的上海光學高階機械研究所,簡稱“光機所”,近期在計算光刻研發上取得了巨大的進展。

“光機所”提出的OPC修正技術(

Optical proximity correction, OPC),可以在EUV光刻裝置硬體不變的情況下,最佳化照明系統與檢測功能,從而進一步提升光刻裝置的解析度。

利用這項技術可以生產出比3nm精度更高的晶片,從晶片工藝的迭代上來看,摩爾定律的延續或將因此在中國實現。

對於我國在高階光刻領域取得的成果,最為之緊張的莫過於荷蘭光刻巨頭ASML了,儘管暫時ASML在老美的出口管制規則下無法出口EUV給我們,但它卻先後多次示好我國市場,這卻恰恰反應出了它的擔憂。

我國作為全球最大的半導體消費市場,對光刻裝置的採購量超過了其他任一個國家,如果我們實現了EUV的國產化,那麼ASML就將失去唯一性,更關鍵的是,我們將會自此成為它的最大競爭對手。

以“中國製造”高質量、低價格的產品特性來看,ASML面對我們這個競爭對手並沒有多大的優勢,它在光刻市場的地位也必將因此而受到巨大的衝擊。

這也就不難理解,在我國決定自研光刻機之時,ASML為何會潑來冷水錶示:即便給中國圖紙,他們也造不出來。事實是,ASML從未把EUV核心製造圖紙交給我們,而且它怎麼會不知道“再尖端的裝置也是人造的而非神造的”,只不過是想透過這種方式讓我們知難而退罷了。

然而,面對老美無底線的封鎖,我們無暇顧及這些傾向於中國市場的美系企業的利益,畢竟是它們無法及時提供給我們所需的半導體裝置。因此,我們在自主研發的同時,或將給它們帶來的“誤傷”完全是老美的問題。

目前國產晶片產業在中低端領域已站穩了腳跟,正在向高階領域發起衝擊,而且清華大學等高校的科研團隊在EUV領域也已取得了不小的研發成果,隨著時間的推進,ASML的擔憂或將成為現實。

上一篇:女子與蛇共居15年,蛇是否有靈性?家蛇真的能與人和平共處?
下一篇:做過爆款的電商人,他才懂的以下思路