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光刻技術再獲突破,或可助力國產光刻機打破現有困境,加速國產化

不得不說,過去的一年,美國的晶片禁令,已然成功狙擊了華為晶片的崛起。受此影響,華為的手機銷量、市場份額都在不斷縮減,目前已跌落出前五,即使華為做出壯士斷腕,分割榮耀等舉措,依然改變不了因缺少晶片而帶來的窘迫局面。

國內無法生產高階商用晶片已是不爭的事實,即使我們有出色的晶片設計廠商、優秀的晶片封裝生產能力,但缺少關鍵的晶片製造環節,一切努力都顯的很是蒼白無力,而導致無法生產高階晶片的核心原因就是沒有高階光刻裝置——光刻機。

我們知道,當今世界最先進的EUV光刻機生產商當屬荷蘭ASML,而且只此一家,是絕對的壟斷。可惜的是,縱然如今倡導全球化貿易,但受限於早期的《瓦森納協定》,高階光刻機對我國來說一直是被禁售的物件,國內很多廠商對其也是求而不得,比如中芯國際等。

國外的技術封鎖,讓我們只能走科技自研的道路。好在美國的晶片禁令,雖然有效狙擊了華為的市場崛起,但也讓光刻機這一核心概念從此走進大眾視野。越來越多的國人意識到光刻機的重要性,國家也開始大力扶持國產光刻機事業的發展,大批企事業單位、研究機構紛紛投入到光刻機研發事業當中。

努力是會有收穫的,前段時間就有訊息傳出,國內上海微電子裝備已成功研發出28nm的光刻機,而且即將出廠銷售。受此影響,ASML立馬開始降價銷售28nm光刻機,以企圖

搶佔

中國市場。不管訊息是否屬實,起碼看到了國內企業攻克光刻機難題的希望。

而近日,又一則訊息證實了國產光刻技術的再次突破。

中科院網站6月10日最新訊息

稱,上海光機所提出了一種基於虛擬邊、雙取樣率畫素化掩模圖形的快速光學鄰近效應修正技術(

OPC),模擬結果表明該計算光刻技術具有較高的修正效率。

OPC技術透過調整掩模圖形的透過率分佈修正光學鄰近效應,從而提高成像質量。基於模型的OPC技術是實現90nm及以下技術節點積體電路製造的關鍵計算光刻技術之一。

在光刻機軟硬體不變的情況下,採用數學模型和軟體演算法對照明模式、掩模圖形與工藝引數等進行最佳化,可有效提高光刻解析度、增大工藝視窗,此類技術即計算光刻技術。該技術被認為是推動積體電路晶片按照摩爾定律繼續發展的新動力。

在當前光刻機技術水平已逼近工程極限的情況下,計算光刻已經成為晶片製造不可或缺的關鍵技術。而上海光機所光刻技術的再次突破,或有可能助推國產光刻機向更高階製程的研發邁進。

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