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單純的從成像解像力上來講, 電子束光刻技術比EUV光刻更具優勢
點選載入圖片在恰恰在光學衍射問題上,電子束光刻技術擁有得天獨厚的優勢...
張忠謀果然說的沒錯, 美日歐嚴重誤判半導體, 中國晶片計劃才是正道
點選載入圖片目前,中芯國際已經實現28nm工藝量產,並且有訊息稱中芯國際在該節點的良率和成本優勢已經超越三星,僅次於臺積電...
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