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中國院士對國產光刻機的看法

光刻機被號稱是工業上的皇冠，歷史上很多企業都曾參與光刻機的研發，可即便最終制造生產出光刻機，其水準也是處在低端水準。而真正做到中高階領域的光刻機廠商，只有ASML這一家公司。

ASML所生產的EUV光刻機無人能出其左右，在邁入高階晶片時代以後，各類電子產品所搭載的高階晶片都需要由EUV光刻機來生產。而且不論是不是高階晶片，都離不開光刻機裝置。

光刻機的原理很簡單，就好比投影儀加照相機的組合，透過光源發光把光刻膠上的矽片曝光，再將曝光後的圖形印在矽片上，最終形成電子線路。

從原理上來說，並不難理解，甚至是非常簡單。但實際製造出一臺EUV光刻機卻非常難，中國要想攻克，並非一朝一夕就能完成的。而且關於國產光刻機，中國院士吳漢明也說出了自己的看法。

吳漢明表示，EUV光刻機有10萬個零部件，背後還有5000家供應商，靠一個國家，地區造出來是不現實的。

中國院士吳漢明的話雖然難聽，但都是大實話。EUV高階光刻機技術整合度非常高，如果離開了背後5000家供應商，哪怕缺少了一家企業的零部件，可能都會造成EUV光刻機的停擺。

EUV光刻機的水準有多高？

整合這麼多技術，零部件的EUV光刻機，水準到底有多高？

如果要想獨立生產EUV光刻機，那麼就必須同時掌握頂級的數學、化學、光學、精密儀器裝置、自動化、工業軟體、高分子物理等等幾十，甚至上百門的學科。因為EUV光刻機不論是製造還是組裝，乃至光源雕刻等等，都會涉及到非常多的頂級學科知識。

具備這些還遠遠不夠，實際執行中對環境的要求也非常高。哪怕站在十幾米以外用力跺腳，可能也會影響到光刻機光源雕刻的精準度，進而導致晶片報廢。

能夠被稱作是工業上的皇冠，那麼EUV光刻機的水準肯定是毋庸置疑的。

它的光源為極紫外光，製造晶片時，需要以每秒5萬次的頻率同時擊中目標兩次。而且EUV光刻機的解析度也有極高的要求，相當於把48萬個單詞印刷在一張紙上2600多次。

所以EUV光刻機的水準可能是人類工業史上最高的，是真正地將微觀作業發揮到了極致。

順應趨勢的中國

吳漢明強調的是EUV光刻機供應鏈的重要性和難度，雖然都是基於事實表述，也是實話，但還是太過於絕對。

美國想要同時限制5000家供應商不對中國供貨不太可能，而中國不會放棄晶片產業全球化。這也意味著中國能夠在關鍵的高階節點技術上取得重大突破，在提升國產光刻機供應鏈的整體實力，那麼在參與全球化的同時，就能出現轉機。

美國不可能代表全球光刻機供應商的態度，而且美國規則只限制含有美國技術在內的企業。世界這麼大，不使用美國技術的供應商也有很多。美國倒施逆行只會適得其反，將自己排除在全球化趨勢之外。

而順應趨勢的中國，不僅會保持市場開放，保持與各國的合作，還會提供龐大的供應鏈市場機會。

國產光刻機的目標不是生產所有的零部件，替代這5000家供應商，而是制定核心技術自研計劃，推動全球產業鏈的協同合作。

總結

EUV光刻機價值昂貴，十分稀有，只可惜受限於美國出口管制規則，ASML想要向中國大陸出貨卻不能如願。

不過EUV光刻機對當下的國產晶片供應鏈來說，並不是剛需。中國需要制定自己的發展計劃，首要問題是把國產晶片產能提升上去，再加強自研技術佔有率。並逐步實現對高階核心技術的攻克，解決一系列的問題。

對此，你有什麼看法呢？

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