前幾年，大家也許都沒聽說過“

光刻機

”，而現在，每當我們提到光刻機，大家已都不陌生，這是什麼東西呢？光刻機，這是用於製造晶片的重要裝置之一，由於其製造難度非常高，研發設計非常困難，並且對精度要求非常苛刻，所以光刻機長期以來在晶片製造領域扮演著極其重要的角色。而在光刻機領域，荷蘭

ASML

則是該領域的“領頭羊”，尤其是在極紫外光刻機領域，

ASML

更是佔據著絕對壟斷的地位。

也正是因為缺少極紫外光刻機，大陸沒有任何一家企業能生產出

7nm

、

5nm

工藝的晶片，雖然中芯國際早期向

ASML

訂購了一臺，但由於美國的限制，

ASML

至今都沒能交付，外加上對中興、華為的晶片禁令，徹底喚醒了我國科技企業自主研發的意識，國內晶片廠商也將希望寄託在了中國企業身上。

為解決光刻機被西方卡脖子的問題，嚐到剔骨之痛的華為第一時間宣佈全面紮根半導體，解決晶片製造的難題，此外，中科院也宣佈入局光刻機，將美國卡脖子的清單變成中科院的科研清單，集全院力量解決光刻機的難題。

好訊息一個接一個

其一、為加速國產光刻機的研發程序，華為旗下哈勃投資了

北京科益虹源光電技術公司

，順利成為這家企業的第七大股東。據悉，該企業的主營業務是光源系統，這是製造光刻機的核心技術之一，這家企業也是全球第三家193nm ArF

準備分子鐳射器企業，該光源系統可用在

DUV

光刻機上，這是華為自研光刻機邁出的重要一步。

其二、

根據媒體透露，國產光刻機巨頭上海微電子表示，全新一代的光刻機預計在今年年底或明年年初實現量產，

其光源系統採用了和

ASML DUV

光刻機相同的光源技術，光源波長均突破

193nm

，該光源系統就是來源於

科益虹源

。並且光刻機精度為

28nm

，這種光刻機不僅可以量產

28nm

、

14nm

工藝的晶片，同時還能實現

7nm

工藝晶片的量產，麒麟

980

就是採用了

7nm

非

EUV

工藝。

也就是說，國產代工企業年底或明年極有可能實現

7nm

工藝的代工水平，同時也不需要向

ASML

購買

DUV

光刻機了。

ASML

，受得了嗎？

自美國開始限制

ASML

的出貨自由後，

ASML

就多次表態要向我國廠商出售光刻機，同時為我國提供良好的售後服務。於

ASML

，北大教授也發出了警告，

如果

ASML

不把光刻機賣給中國，

3

年後中國就會掌握這項技術，並且根據以往的經驗，只要中國掌握這項技術，其生產成本比任何國家都便宜，那時候

ASML

可能就要退出光刻機市場了。

國產光刻機好訊息一個接一個，作為光刻機巨頭的

ASML

，不知道還受得了嗎？

中國晶片迎來春天

由於摩爾定律的緣故，晶片所容納的電晶體數量每隔一定的時間就會增加一倍，

2018

年臺積電實現了

7nm

工藝的量產，

2020

年臺積電實現了

5nm

工藝的量產，按照中國科技的發展速度，如果

2021

年底上海微電子新一代光刻機落地，

2023

年左右我國將會實現

5nm

工藝晶片的量產。

晶片禁令初期，我國著名軍事理論家張召忠曾公開表示“再過

3

年，美國晶片將無人用，因為到時候中國晶片將到處都是”，現在看來被張召忠說中了，相信用不了多久，我國必然能在光刻機、晶片領域有所突破。

更重要的是，當前是中國發展過程中的一個重要關頭，我們應該給予這些企業一些耐心和包容，同時也應該優勢給予這些企業一些鼓勵，因為這對中國的長遠發展具有重要意義！