螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種，由於具有抽速範圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放，以及執行成本低等一系列優點，在半導體、光伏、化工、製藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到了廣泛應用。

「乾式螺桿真空泵的使用注意事項」

如下：

1.螺桿真空泵背壓

螺桿真空泵通常的排氣壓力是大氣壓，在配用電機功率不變的情況下，最大允許背壓到0。3bar。

如果螺桿真空泵在高背壓下執行，會造成抽速下降、極限真空變差、排氣溫度過高等問題。

2.進氣溫度

螺桿真空泵進氣溫度15℃~60℃，在此溫度範圍內，泵可連續長期工作。進氣溫度超出此範圍，需採取必要措施。

3.冷卻水溫度

注意冷卻水的溫度，冷卻水最高的允許溫度為32℃，但必須適當加大冷卻水流量。

4.處理液體和固體的能力

螺桿真空泵的被抽氣體可以夾帶一定量的液體和微小顆粒。

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